[实用新型]一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架有效
| 申请号： | 201821795156.3 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN209210914U | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 郭翔宇 | 申请（专利权）人： | 长沙迈博光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 安化县梅山专利事务所 43005 | 代理人： | 夏赞希 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市长沙经济技术开发*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架，包括上盘、下盘和连杆，所述上盘与下盘的端面均开设有挂槽和螺纹孔，所述连杆的两端分别设置于所述上盘与下盘的挂槽内，所述上盘上还设置有电机连接件，所述电机连接件上开设有连接孔，基片架通过下盘螺接有基片。本实用新型提供的一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架，结构稳固可靠，基片板架安装和卸下也是非常的方便快捷。 | ||
| 搜索关键词： | 基片架 上盘 下盘 溅射镀膜机 可旋转 鼠笼式 本实用新型 电机连接件 挂槽 结构稳固 基片板 连接孔 螺纹孔 螺接 卸下 | ||
【主权项】：
1.一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架，其特征在于：包括上盘、下盘和连杆，所述上盘与下盘的端面均开设有挂槽和螺纹孔，所述连杆的两端分别设置于所述上盘与下盘的挂槽内，所述上盘上还设置有电机连接件，所述电机连接件上开设有连接孔，所述基片架通过下盘螺接有基片。
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