[实用新型]一种配备旋转辅助阳极的中空镀膜机腔体有效
| 申请号： | 201821808837.9 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN209162182U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 刘玉杰 | 申请（专利权）人： | 天津涂冠科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京中索知识产权代理有限公司 11640 | 代理人： | 赵登阳 |
| 地址： | 300000 天津市津南*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种配备旋转辅助阳极的中空镀膜机腔体，包括腔体壳层、离化源法兰、辅助阳极旋转轨道、转架拨盘、支撑转架底座、转架主轴、辅助阳极绝缘层、辅助阳极旋转轴、辅助阳极旋转珠部件、转架转盘、转架支撑底座和转架主轴拨盘。本实用新型通过对腔体结构和转架结构的改造，为特定工件难以通镀通孔在公转状态下提供辅助阳极，提高特定工件通孔镀膜深径比，从而使得特定工件在一定的尺寸范围内增加了内孔通镀的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 辅助阳极 转架 本实用新型 镀膜机 中空 拨盘 腔体 绝缘层 工件通孔 腔体结构 旋转轨道 支撑底座 镀通孔 离化源 腔体壳 深径比 旋转轴 旋转珠 配备 底座 镀膜 法兰 内孔 转盘 支撑 改造 | ||
【主权项】：
1.一种配备旋转辅助阳极的中空镀膜机腔体，包括腔体壳层(1)、离化源法兰(2)、辅助阳极旋转轨道(3)、转架拨盘(4)、支撑转架底座(5)、转架主轴(6)、辅助阳极绝缘层(7)、辅助阳极旋转轴(8)、辅助阳极旋转珠部件(9)、转架转盘(10)、转架支撑底座(11)和转架主轴拨盘(12)。
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