[实用新型]一种镀膜设备沉积腔室和镀膜设备有效
| 申请号： | 201821809417.2 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN209555354U | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 田保峡;闻益;曲士座 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜设备沉积腔室，在所述沉积腔室的底板上设置有金属蒸发源和非金属蒸发源，其中，沿所述衬底的第一预设方向设置的每排所述非金属蒸发源的个数为M个；并且，位于同一排的相邻两个非金属蒸发源之间的间距为一定值；M为大于等于8小于等于15的整数；其中，在沿所述衬底的第一预设方向设置的非金属蒸发源的两侧沿第二预设方向各设置有一排金属蒸发源，位于非金属蒸发源一侧的一排金属蒸发源与位于非金属蒸发源另一侧的金属蒸发源对称设置。本方案，使得通过镀膜设备沉积腔室在底板表面形成的CIGS膜厚度均匀，性能良好，从而使得形成的包括CIGS膜的太阳能电池具有较高的发电效率，有效满足用电需求。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发源 金属蒸发源 沉积腔室 镀膜设备 预设 方向设置 衬底 底板 本实用新型 太阳能电池 底板表面 对称设置 发电效率 厚度均匀 用电需求 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜设备沉积腔室，所述沉积腔室包括底板和设置在所述底板上的金属蒸发源和非金属蒸发源，其特征在于，沿所述底板的第一预设方向设置的每排所述非金属蒸发源的个数为M个；并且，位于同一排的相邻两个非金属蒸发源之间的间距为一定值；M为大于等于8小于等于15的整数；其中，在沿所述底板的第一预设方向设置的非金属蒸发源的两侧、沿第二预设方向设置有一排金属蒸发源，位于非金属蒸发源一侧的一排金属蒸发源与位于非金属蒸发源另一侧的金属蒸发源对称设置。
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