[实用新型]一种陶瓷盘转运设备

摘要

本实用新型提供了一种陶瓷盘转运设备，该陶瓷盘转运设备用于转运抛光过程中使用涂蜡法粘有硅片的陶瓷盘，旨在提供一种具有转运效率高、转运位置准确的转运设备，包括xyz方向移动模组装置和开合吸盘机构，xyz方向移动模组装置与开合吸盘机构均通过伺服电机与内置的丝杠驱动，电机驱动xyz方向移动模组装置移动到特定位置，开合吸盘机构上的四个真空吸盘吸取四个陶瓷盘，然后电机驱动xyz方向移动模组装置将四个陶瓷盘移动到第二个抛光机进行硅片精抛。本实用新型能够有效提升硅片抛光过程中的陶瓷盘转运效率，采用四个吸盘同时吸取方法，缩短抛光时间，减少人工参与，降低操作失误率，提升工作效率。

主权项

1.一种陶瓷盘转运设备，其特征在于：包括xyz方向移动模组装置(2)和开合吸盘机构(3)，二者均通过伺服电机(5)驱动，所述xyz方向移动模组装置(2)包括两个x向模组(21)、两个y向模组(22)和一个z向模组(23)，所述开合吸盘机构(3)固设于所述z向模组(23)上部，包括开合机构(31)和两个吸盘机构(32)，两个所述吸盘机构(32)分别与开合机构(31)滑动连接，方向水平且互相平行；所述开合机构(31)包括底板(310)、丝杠(6)和位于丝杠(6)两侧的导轨(311)，所述丝杠(6)上设有两个与其匹配连接的丝母(321)，两个所述丝母(321)的内螺纹方向相反，所述导轨(311)上设有两个与其滑动连接的滑块(322)，所述吸盘机构(32)包括连接板(320)和位于连接板(320)一端的两个真空吸盘(323)，所述连接板(320)远离真空吸盘(323)的一端与位于开合机构(31)同一侧的丝母(321)和两个滑块(322)固定连接，两个所述吸盘机构(32)上的真空吸盘(323)位置对称。