[实用新型]加热器铠甲有效
| 申请号： | 201821835770.8 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN208949395U | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 陈君 | 申请（专利权）人： | 宁波涂冠镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 叶栋 |
| 地址： | 315000 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空镀膜设备的加热器保护配件，具体是一种可拆卸的加热器铠甲。该加热器铠甲包括一个或者至少两个加热组件，加热组件包括加热器和可拆卸式设置在加热器外围的保护罩，保护罩整体呈空心圆柱状，保护罩包括第一弧形板，第二弧形板以及用于将第一弧形板与第二弧形板可拆卸的固定在一起的连接器，保护罩内连接有弹性金属片，弹性金属片一端连接在保护罩上，另一端与加热器接触。本实用新型的有益效果在于：本实用新型涉及的加热器铠甲，通过保护罩可防止靶材沉积于加热器上，延长加热器的使用寿命，另外保护罩容易制备，易于拆卸更换，降低了使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 保护罩 铠甲 弧形板 本实用新型 弹性金属片 加热组件 可拆卸的 连接器 可拆卸式设置 真空镀膜设备 加热器接触 空心圆柱状 保护配件 拆卸更换 使用寿命 一端连接 内连接 靶材 沉积 制备 外围 | ||
【主权项】：
1.一种加热器铠甲，其特征在于：所述加热器铠甲包括一个或者至少两个加热组件，所述加热组件包括加热器和可拆卸式设置在所述加热器外围的保护罩，所述保护罩整体呈空心圆柱状，所述保护罩包括第一弧形板，第二弧形板以及用于将第一弧形板与第二弧形板可拆卸的固定在一起的连接器，所述保护罩内连接有弹性金属片，所述弹性金属片一端连接在所述保护罩上，另一端与所述加热器接触。
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