[实用新型]一种TFT减薄蚀刻前清洗设备上料保护装置有效
申请号: | 201821845991.3 | 申请日: | 2018-11-09 |
公开(公告)号: | CN209028362U | 公开(公告)日: | 2019-06-25 |
发明(设计)人: | 唐朝晖;张敬冬 | 申请(专利权)人: | 黄石惠晶显示科技有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 435000 湖北省黄石市经*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型提供一种TFT减薄蚀刻前清洗设备上料保护装置。所述TFT减薄蚀刻前清洗设备上料保护装置包括底座;升降机构,所述升降机构固定连接所述底座;锁定机构,所述锁定机构包括第一固定块、第二固定块和转动柱,所述第一固定块与所述第二固定块均固定于所述升降机构,所述转动柱滑动连接所述第一固定块与所述第二固定块;支撑架,所述支撑架固定连接所述底座;移动机构,所述移动机构抵触所述升降机构;放置机构,所述放置机构卡合连接所述移动机构。本实用新型提供的TFT减薄蚀刻前清洗设备上料保护装置操作方便、使用灵活、保证放置架位置到位,从而防止TFT报废。 | ||
搜索关键词: | 固定块 保护装置 蚀刻 清洗设备 升降机构 减薄 上料 移动机构 底座 本实用新型 放置机构 转动柱 锁定 支撑架固定 滑动连接 卡合连接 放置架 支撑架 报废 抵触 灵活 保证 | ||
【主权项】:
1.一种TFT减薄蚀刻前清洗设备上料保护装置,其特征在于,包括:底座;升降机构,所述升降机构固定连接所述底座;锁定机构,所述锁定机构包括第一固定块、第二固定块和转动柱,所述第一固定块与所述第二固定块均固定于所述升降机构,所述转动柱滑动连接所述第一固定块与所述第二固定块;支撑架,所述支撑架固定连接所述底座;移动机构,所述移动机构抵触所述升降机构;放置机构,所述放置机构卡合连接所述移动机构。
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