[实用新型]一种双室化学气相沉积炉内外室压力控制系统

摘要

本实用新型公开了一种双室化学气相沉积炉内外室压力控制系统，包括炉内罐，炉内罐的外壁和底部包围有一层炉衬，炉内罐的相对两侧分别设有加热器，且加热器被包围在炉衬内，炉内罐的顶部分别设有内室压力传感器和抽真空管道，抽真空管道的一端连接在炉内罐的顶部，抽真空管道的另一端连在炉衬的侧壁上，且抽真空管道上设有内外室连通系统，炉内罐的底部设有内室送气系统，炉内罐的底部一侧设有外室送气系统。解决了目前双室化学气相沉积炉存在的内外室之间密封不严、内室污染气体逸入外室中，影响加热器与路晨保温材料，造成能耗损失的问题。

主权项

1.一种双室化学气相沉积炉内外室压力控制系统，其特征在于：包括炉内罐(3)，炉内罐(3)的外壁和底部包围有一层炉衬(2)，炉内罐(3)的相对两侧分别设有加热器(1)，且加热器(1)被包围在炉衬(2)内，炉内罐(3)的顶部分别设有内室压力传感器(5)和抽真空管道(4)，抽真空管道(4)的一端连接在炉内罐(3)的顶部，抽真空管道(4)的另一端连在炉衬(2)的侧壁上，且抽真空管道(4)上设有内外室连通系统，炉内罐(3)的底部设有内室送气系统(13)，炉内罐(3)的底部一侧设有外室送气系统。