[实用新型]一种吸气剂薄膜的加工衬底有效
| 申请号： | 201821857876.8 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN208970477U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 甘先锋;杨水长;杨秀武 | 申请（专利权）人： | 烟台艾睿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J7/18 | 分类号： | H01J7/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 264006 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种吸气剂薄膜的加工衬底，包括：衬底基板；所述衬底基板设有多组镂空槽，每组镂空槽围成的区域内设有多个吸气剂端子；覆盖在所述衬底基板上的硬掩膜版；所述硬掩膜版设有多个开孔，使上述每组镂空槽围成的区域不被硬掩膜版覆盖。与现有技术相比，本实用新型提供的加工衬底具有特定结构及连接关系，能够用于薄膜衬底的加工工艺，实现避开了光刻和蚀刻工艺以及剥离工艺、划片工艺，减少设备投入，利于环保，加工周期短，从而进一步实现吸气剂薄膜加工的简单高效化及低成本量产，并提升吸气剂薄膜的吸气性能。 | ||
| 搜索关键词： | 吸气剂 薄膜 衬底基板 硬掩膜 镂空槽 衬底 加工 本实用新型 吸气 剥离工艺 薄膜加工 划片工艺 加工周期 减少设备 连接关系 蚀刻工艺 低成本 高效化 覆盖 光刻 开孔 量产 避开 环保 | ||
【主权项】：
1.一种吸气剂薄膜的加工衬底，其特征在于，包括：衬底基板；所述衬底基板设有多组镂空槽，每组镂空槽围成的区域内设有多个吸气剂端子；覆盖在所述衬底基板上的硬掩膜版；所述硬掩膜版设有多个开孔，使上述每组镂空槽围成的区域不被硬掩膜版覆盖。
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