[实用新型]半导体晶圆阀体排料装置

摘要

本实用新型提供半导体晶圆阀体排料装置，它包括有振动盘，振动盘出口处倾斜安装有过渡导向板，过渡导向板较高一端位于振动盘出口下方，过渡导向板较低一端下方安装有排料板，排料板底部安装有震动器，排料板呈长方形，其长度方向两侧活动安装有侧向挡板，两块侧向挡板之间形成排料区，排料区的排料板上设有下凹的接头限位槽，过渡导向板一端的排料板其中一侧设有限位销，排料板另一侧设有下凹的接头导向槽，接头导向槽其中一端与接头限位槽连接，接头导向槽上方安装有限位杆。采用本方案后的结构合理、使用效果好、出错率低。

主权项

1.半导体晶圆阀体排料装置，它包括有振动盘（1），其特征在于：振动盘（1）出口处倾斜安装有过渡导向板（2），过渡导向板（2）较高一端位于振动盘（1）出口下方，过渡导向板（2）较低一端下方安装有排料板（3），排料板底部安装有震动器，排料板（3）呈长方形，其长度方向两侧活动安装有侧向挡板（4），两块侧向挡板（4）之间形成排料区，排料区的排料板（3）上设有下凹的接头限位槽（6），过渡导向板（2）一端的排料板（3）其中一侧设有限位销（7），排料板（3）另一侧设有下凹的接头导向槽（8），接头导向槽（8）其中一端与接头限位槽（6）连接，接头导向槽（8）上方安装有限位杆（9）。