[实用新型]一种晶圆片湿式切割用划片机

摘要

本实用新型涉及晶圆片划片技术领域，且公开了一种晶圆片湿式切割用划片机，包括划片机机体，所述划片机机体的顶部固定安装有第一滑轨，所述第一滑轨的顶部活动安装有第二滑轨，所述第二滑轨的顶部活动安装有第一滑块，所述第一滑块的顶部固定安装有工作台。该晶圆片湿式切割用划片机，通过液压缸的伸缩运动，可以带动固定杆运动，从而带动第二滑块左右运动，进而带动超高压水射流发生器左右运动，完成划片动作，通过超高压水射流发生器，可以使得水高速通过水喷头排出，形成水刀，对晶圆片进行划片工作，采用这种湿式切割的方式划片，精度更高，并且无污染，同时不会产生高温，有一定的保护作用。

主权项

1.一种晶圆片湿式切割用划片机，包括划片机机体(1)，其特征在于：所述划片机机体(1)的顶部固定安装有第一滑轨(2)，所述第一滑轨(2)的顶部活动安装有第二滑轨(3)，所述第二滑轨(3)的顶部活动安装有第一滑块(4)，所述第一滑块(4)的顶部固定安装有工作台(5)，所述工作台(5)的内部设置有漏水孔(6)，所述第一滑块(4)的底部固定安装有限位块(7)，所述第二滑轨(3)的内部固定安装有电机(8)，所述电机(8)的输出轴固定安装有齿轮(9)，所述齿轮(9)与限位块(7)啮合，所述划片机机体(1)的顶部固定安装有支撑架(10)，所述支撑架(10)的底部固定安装有第三滑轨(11)，所述第三滑轨(11)的底部活动安装有第二滑块(12)，所述第二滑块(12)的底部固定安装有超高压水射流发生器(13)，所述超高压水射流发生器(13)的底部固定安装有水喷头(14)，所述划片机机体(1)的内壁左侧固定安装有液压缸(15)，所述液压缸(15)的左侧固定安装有固定杆(16)，所述固定杆(16)与第二滑块(12)固定安装，所述划片机机体(1)的底部固定安装有底座(17)，所述划片机机体(1)的底部固定安装有万向轮(18)。