[实用新型]一种化学机械抛光设备的分级过滤装置

摘要

本实用新型公开了一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，包括过滤装置箱，所述过滤装置箱的底部固定安装有装置防滑脚垫，所述分级过滤板上固定安装有过滤网，所述过滤网上预留有过滤网孔，所述抛光液过滤罐的右侧下方活动安装有出水连接管，所述搅拌转轴上活动安装有搅拌叶轮，所述抛光液转运水箱的右侧上端活动安装有抛光液转运水管，所述过滤装置箱的左侧下端开设有排水口，所述过滤装置箱的外侧固定安装有罐体观察窗。该化学机械抛光设备的分级过滤装置，能够根据所加工零件的不同对罐体内的化学成分进行调整，将溶于抛光液内的化学物质分离出来，还能通过多层的过滤网，保证抛光液的使用效果，方便抛光液的反复循环利用和对抛光液的更换。

主权项

1.一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，包括过滤装置箱（1），其特征在于：所述过滤装置箱（1）的底部固定安装有装置防滑脚垫（2），所述过滤装置箱（1）内侧的下端固定安装有过滤罐底座（9），所述过滤罐底座（9）的上端固定安装有抛光液过滤罐（3），所述抛光液过滤罐（3）的上端可拆卸安装有罐体密封盖（5），所述罐体密封盖（5）上固定安装有进水口（4），所述抛光液过滤罐（3）外侧的左上端固定安装有试剂加注口（6），所述抛光液过滤罐（3）内侧开设有过滤腔室（7），所述过滤腔室（7）和抛光液过滤罐（3）之间固定安装有防腐蚀内衬（8），所述过滤腔室（7）的上端活动安装有集水板（17），所述集水板（17）中心位置预留有出水孔（18），所述过滤腔室（7）的下端活动安装有分级过滤板（19），所述分级过滤板（19）上固定安装有过滤网（20），所述过滤网（20）上预留有过滤网孔（21），所述抛光液过滤罐（3）的右侧下方活动安装有出水连接管（10），所述出水连接管（10）上固定安装有连接接头（11），所述出水连接管（10）活动安装在水箱接头（12）上，所述水箱接头（12）固定安装在抛光液转运水箱（13）的左侧中端，所述抛光液转运水箱（13）的外侧固定安装有加压水泵（14），所述抛光液转运水箱（13）的上端固定安装有搅拌电机（15），所述搅拌电机（15）的下端活动安装有搅拌转轴（24），所述搅拌转轴（24）上活动安装有搅拌叶轮（25），所述抛光液转运水箱（13）的右侧上端活动安装有抛光液转运水管（16），所述过滤装置箱（1）的左侧下端开设有排水口（22），所述过滤装置箱（1）的外侧固定安装有罐体观察窗（23）。