[实用新型]一种用于监控尼康光刻机底部镜头雾化散光程度的掩膜板

摘要

本实用新型提供一种用于监控尼康光刻机底部镜头雾化散光程度的掩膜板，涉及尼康光刻机镜头维护领域。尼康光刻机底部镜头实际受雾化散光影响主要集中在扫描曝光的X方向，本实用新型通过在扫描曝光的X方向放置多列图形组合，其中，每列图形组合中包括多类不同形状的图形，每类图形的线宽尺寸兼容各类光刻机的最小及最大曝光尺寸标准。该掩膜板经曝光后通过扫描电子显微镜自动测量晶圆不同形状、不同线宽尺寸的图形的变化量，表征底部镜头的雾化散光程度和分布趋势。本实用新型有效监控光刻机漏光性能稳定性，确保产品品质安全；同时，镜头周期使用率得到最大化，有利于机台保养整体规划。

主权项

1.一种用于监控尼康光刻机底部镜头雾化散光程度的掩膜板，其特征在于，包括沿扫描曝光的X方向放置的多列图形组合，每列所述图形组合中包括多类不同形状的图形；每列所述图形对应于一个透光率；所述掩膜板经曝光后测量晶圆上所述不同形状图形的变化量，表征底部镜头的雾化散光程度和分布趋势。