[实用新型]一种微型器件转移装置及转移系统有效
| 申请号： | 201821909442.8 | 申请日： | 2018-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN209087798U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 韩进龙 | 申请（专利权）人： | 韩进龙 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 安徽知问律师事务所 34134 | 代理人： | 王亚军 |
| 地址： | 243000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微型器件转移装置及转移系统，属于电子制造领域。针对现有技术中存在的微型器件转移效率低、错误率高的问题，本实用新型提供了一种微型器件转移装置及转移系统，微型器件转移装置，包括，微型器件转移匣，存放微型器件，并将微型器件转移至转换机构的感应装置上；转换机构，包括感应装置和与感应装置相对设置的转写轮，利用电场感应转印技术进行微型器件的转移，将感应装置上的微型器件转移至转移基板上；清洁机构，将感应装置上未转移完全的微型器件回收。利用电场感应转印技术来对微型器件进行巨量转移，它可以实现微微型器件的巨量转移，效率高、准确率好。 | ||
| 搜索关键词： | 微型器件 感应装置 转移装置 转移系统 本实用新型 电场感应 转换机构 转印技术 电子制造领域 清洁机构 相对设置 转移基板 转移效率 错误率 转写轮 准确率 回收 | ||
【主权项】：
1.一种微型器件转移装置，其特征在于，包括，一个或多个微型器件转移匣(201)，微型器件转移匣(201)与转移机构对应，用于存放微型器件(1)，并将微型器件(1)转移至转移机构的感应装置(202)上；转移机构，包括感应装置(202)和与感应装置(202)相对设置的转写轮(203)，利用感应装置(202)、微型器件(1)和转写轮(203)之间的电场感应进行微型器件(1)的转移，将感应装置(202)上的微型器件(1)转移至转移基板(5)上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
