[实用新型]一种槽间承接盘的清洗装置及清洗机有效
| 申请号： | 201821909874.9 | 申请日： | 2018-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN209287904U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 颜超仁;赵黎;刘家桦;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/093 | 分类号： | B08B9/093;B08B3/08;F26B21/00 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种槽间承接盘的清洗装置及清洗机，所述槽间承接盘的清洗装置包括液体清洗模块和气态流体干燥模块，所述液体清洗模块用于冲洗所述槽间承接盘，所述气态流体干燥模块用于干燥冲洗后的所述槽间承接盘。避免了晶圆在从酸洗槽转移到水槽的过程中滴落的化学药液残留在酸洗槽和水槽之间的槽间承接盘上，从而避免了槽间承接盘上发生结晶现象，避免了微粒的产生，从而避免了微粒导致的晶圆缺陷，还能够有效预防化学药液对槽间承接盘的腐蚀，从而避免了金属污染，大大提高了晶圆的生产良率，此外，酸洗槽和水槽之间的槽间承接盘上不会残留化学药液，还避免了操作过程中槽间承接盘上的废液飞溅，从而提高了晶圆的生产良率。 | ||
| 搜索关键词： | 承接盘 槽间 水槽 化学药液 清洗装置 酸洗槽 晶圆 清洗模块 清洗机 良率 种槽 冲洗 残留 本实用新型 操作过程 干燥模块 结晶现象 金属污染 晶圆缺陷 流体干燥 气态流体 有效预防 飞溅 滴落 废液 腐蚀 生产 | ||
【主权项】：
1.一种槽间承接盘的清洗装置，用于清洗机上，其特征在于，包括液体清洗模块和气态流体干燥模块，所述液体清洗模块用于冲洗所述槽间承接盘，所述气态流体干燥模块用于干燥冲洗后的所述槽间承接盘。
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