[实用新型]一种无屑激光加工装置有效

专利信息
申请号: 201821922347.1 申请日: 2018-11-21
公开(公告)号: CN209318994U 公开(公告)日: 2019-08-30
发明(设计)人: 成奎栋 申请(专利权)人: 伊欧激光科技(苏州)有限公司
主分类号: B23K26/064 分类号: B23K26/064;B23K26/067
代理公司: 苏州科仁专利代理事务所(特殊普通合伙) 32301 代理人: 陆彩霞;周斌
地址: 215217 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种无屑激光加工装置,用于对加工对象物进行激光刻槽,包括出射激光束的激光源和用于装载加工对象物的工作台,还包括将激光束分为主光束和辅助光束的第一偏振分光镜、对主光束和辅助光束进行接收并以相同的方向同时照射在加工对象物上的第二偏振分光镜,主光束通过第一光路路径调整部照射第二偏振分光镜,辅助光束通过第二光路路径调整部分为第一辅助光束、第二辅助光束,第一辅助光束和第二辅助光束照射第二偏振分光镜并通过第二偏振分光镜分别照射在主光束的边缘从而与主光束同时加工加工对象物。本实用新型能够有效防止主光束照射领域的边缘产生异物或碎屑,提高加工品质,同时还可以减小激光加工装置的体积,简化内部结构。
搜索关键词: 辅助光束 偏振分光镜 主光束 加工对象物 照射 激光加工装置 本实用新型 光路路径 激光束 无屑 激光刻槽 调整部 激光源 工作台 异物 出射 减小 碎屑 加工 装载
【主权项】:
1.一种无屑激光加工装置,用于对加工对象物(W)进行激光刻槽,包括出射激光束的激光源(1)和用于装载加工对象物(W)的工作台(S),其特征在于:还包括将激光束分为主光束和辅助光束的第一偏振分光镜(2)、对主光束和辅助光束进行接收并以相同的方向同时照射在加工对象物(W)上的第二偏振分光镜(3),所述主光束通过第一光路路径调整部照射所述第二偏振分光镜(3),所述辅助光束通过第二光路路径调整部分为第一辅助光束、第二辅助光束,第一辅助光束和第二辅助光束照射所述第二偏振分光镜(3)并通过第二偏振分光镜(3)分别照射在主光束的边缘从而与主光束同时加工加工对象物(W)。
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