[实用新型]一种用于显微镜观察的操作装置

摘要

本实用新型公开了一种用于显微镜观察的操作装置，包括安装板、转动支架、晶舟盒、控制器和底座，所述底座前端外表面固定安装有控制器，底座顶部固定安装有放置座、转动支架和晶舟盒，放置座和晶舟盒分别位于转动支架的两侧，晶舟盒内侧底部固定安装有若干斜插，所述斜插将晶舟盒内部分为若干个用于放置晶圆的腔体，放置座顶部开设有槽体，槽体内侧底部固定安装有光源灯，槽体的两侧上方固定安装有透光镜，放置座顶部开设有弧形槽，弧形槽与槽体一侧连通，放置座顶部固定安装有安装板。本实用新型结构简单，在操作过程中能够对晶圆进行精准的夹持，能够提高工作效率，通过还能避免晶圆损坏，从而避免产生碎片而对装置造成刮伤。

主权项

1.一种用于显微镜观察的操作装置，包括安装板(4)、转动支架(5)、晶舟盒(7)、控制器(8)和底座(9)，其特征在于，所述底座(9)前端外表面固定安装有控制器(8)，底座(9)顶部固定安装有放置座(27)、转动支架(5)和晶舟盒(7)，放置座(27)和晶舟盒(7)分别位于转动支架(5)的两侧，晶舟盒(7)内侧底部固定安装有若干斜插(6)，放置座(27)顶部开设有槽体(12)，槽体(12)内侧底部固定安装有光源灯(13)，槽体(12)的两侧上方固定安装有透光镜(11)，放置座(27)顶部开设有弧形槽(10)，弧形槽(10)与槽体(12)一侧连通，放置座(27)顶部固定安装有安装板(4)，安装板(4)的前端外表面固定安装有工作机箱(2)，工作机箱(2)顶部固定安装有观察显示屏(1)，工作机箱(2)底部固定安装有高倍物镜(3)，转动支架(5)内部开设有腔体(20)，腔体(20)的内侧底部固定安装有转动座(19)，转动支架(5)顶部固定安装有第一电机(18)，第一电机(18)的输出轴通过联轴器贯穿至腔体(20)与转动座(19)的顶部连接，转动支架(5)外侧设有与腔体(20)相通的开口且开口俯视图呈半圆，转动座(19)一侧通过安装件贯穿开口固定安装有第一电动伸缩杆(17)，第一电动伸缩杆(17)伸缩杆的自由端固定安装有转轴(16)，转轴(16)外部固定安装有第二电机(29)，第二电机(29)的输出轴贯穿至转轴(16)内连接轴转动轴，转轴(16)远离转动支架(5)的一侧设有与转动轴相通的开口，转动轴一侧固定安装有连接杆(15)的一端，连接杆(15)的自由端贯穿开口固定安装有安装座(14)，安装座(14)底部固定安装有位移传感器(26)，转轴(16)后端外表面固定安装有角度传感器(25)，安装座(14)一侧固定安装有上夹板(21)，上夹板(21)顶部固定安装有第二电动伸缩杆(28)，上夹板(21)远离安装座(14)的一侧固定安装有光纤传感器(24)，安装座(14)远离转动支架(5)的一侧转动安装有下夹板(23)，下夹板(23)位于上夹板(21)下方，第二电动伸缩杆(28)伸缩杆的自由端贯穿至上夹板(21)下方与下夹板(23)的顶部转动连接。