[实用新型]一种机器人有效
| 申请号： | 201821928915.9 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN209453571U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 易兴 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J19/02;B25J9/16 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种机器人，应用于运送晶圆；其中，包括：托盘，用于承托晶圆；第一距离传感器，设置于托盘的前端，用于感测托盘承托的晶圆前方的物体的距离；能够对运送的晶圆的情况进行监控，避免在运送晶圆的过程中与碰撞物进行碰撞损坏晶圆，保证了晶圆运送及加工的自动化运行的可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 托盘 运送 承托 半导体技术领域 距离传感器 碰撞损坏 碰撞物 感测 机器人 自动化 监控 加工 应用 保证 | ||
【主权项】：
1.一种机器人，应用于运送晶圆，其特征在于，包括：托盘，用于承托晶圆；第一距离传感器，设置于所述托盘的前端，用于感测所述托盘承托的所述晶圆前方的物体的距离；运动执行部件；处理器，分别连接每个所述第一距离传感器；控制器，分别连接所述处理器和所述运动执行部件。
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