[实用新型]一种全自动摇动式硅片清洗设备

摘要

本实用新型公开了一种全自动摇动式硅片清洗设备，涉及硅片清洗技术领域，该全自动摇动式硅片清洗设备，包括清洗设备本体和活动盖，清洗设备本体和活动盖固定连接，清洗设备本体的内底壁安装有对称布置的加热器，清洗设备本体的内部底侧活动安装有驱动轴，清洗设备本体的侧面右侧底部固定安装有第一伺服电机。该全自动摇动式硅片清洗设备，提高了硅片的清洗效率，加热器工作使得清洗水变成热水，不仅可以清洗硅片上附着的杂物，而且可以使得硅片上的胶体脱离，增强了清洗设备的实用性，实现了多组硅片放置架可以同时进行摇动式清洗，提高了企业的经济效益，节能环保，提高了硅片清洗的充分性和彻底性，降低了维护成本。

主权项

1.一种全自动摇动式硅片清洗设备，包括清洗设备本体(1)和活动盖(2)，其特征在于：所述清洗设备本体(1)和活动盖(2)固定连接，所述清洗设备本体(1)的内底壁安装有对称布置的加热器(3)，所述清洗设备本体(1)的内部底侧活动安装有驱动轴(4)，所述清洗设备本体(1)的侧面右侧底部固定安装有第一伺服电机(5)，所述驱动轴(4)的外表面固定安装有均匀布置的驱动齿轮(6)；所述清洗设备本体(1)的内部安装有多个硅片放置架(7)，所述硅片放置架(7)的底部外侧滑动安装有滑轨(8)，所述硅片放置架(7)的外侧固定连接有齿条(9)，所述滑轨(8)的中部底侧活动安装有连动齿轮(10)，所述硅片放置架(7)的两侧均活动安装有限位滑柱(11)，所述限位滑柱(11)靠近硅片放置架(7)的一端固定安装有轴承(12)；所述滑轨(8)的内部两侧均开设有滑槽(13)，所述限位滑柱(11)与滑槽(13)滑动连接，所述硅片放置架(7)的正面两侧均设置有螺杆(14)，所述螺杆(14)与清洗设备本体(1)的内底壁活动连接，所述螺杆(14)的外表面安装有套筒(15)，所述套筒(15)的外表面固定连接有支撑杆(16)，所述滑轨(8)的正面两侧均固定连接有固定座(17)，所述支撑杆(16)的顶端和固定座(17)的底端均固定安装有定位柱(18)，所述支撑杆(16)的顶端和固定座(17)的底端之间安装有高强弹簧(19)，所述螺杆(14)的底端贯穿清洗设备本体(1)的底壁并固定安装有第一双股带轮(20)；所述清洗设备本体(1)的底壁正面中部活动插接有连轴(21)，所述连轴(21)的底端固定安装有第二双股带轮(22)，所述第二双股带轮(22)和第一双股带轮(20)的之间安装有第一皮带(23)，所述连轴(21)的顶端固定安装有连动单股带轮(24)，所述清洗设备本体(1)的侧面左侧底部固定安装有第二伺服电机(25)，所述第二伺服电机(25)的底端固定安装有驱动单股带轮(26)，所述驱动单股带轮(26)和连动单股带轮(24)的之间安装有第二皮带(27)。