[实用新型]一种MOCVD设备尾气热解处理系统有效
| 申请号： | 201821949326.9 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN209405970U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 于长青;张新云;宁吉 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;B01D53/04;B01D46/00 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 王立民;贾博雍 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种MOCVD设备尾气热解处理系统，包括：热解装置、冷凝装置和吸附装置。MOCVD设备的排气口通过管道依序与所述热解装置、所述冷凝装置和所述吸附装置串接。MOCVD尾气通过所述热解装置进行热分解后，经过所述冷凝装置进行冷却并分离所形成的固态颗粒物或液滴；所述吸附装置对所述冷凝装置排出的残余尾气进行吸附清理。本实新型能解决现有MOCVD设备尾气采用吸附剂去除AsH3和PH3，存在成本高、效率低的问题，能提高尾气处理的效率和安全性，降低制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 冷凝装置 热解装置 吸附装置 尾气 热解处理系统 本实用新型 固态颗粒物 残余尾气 尾气处理 制造成本 排气口 热分解 吸附剂 串接 排出 去除 吸附 液滴 冷却 | ||
【主权项】：
1.一种MOCVD设备尾气热解处理系统，其特征在于，包括：热解装置、冷凝装置和吸附装置；MOCVD设备的排气口通过管道依序与所述热解装置、所述冷凝装置和所述吸附装置串接；MOCVD尾气通过所述热解装置进行热分解后，经过所述冷凝装置进行冷却并分离所形成的固态颗粒物或液滴；所述吸附装置对所述冷凝装置排出的残余尾气进行吸附清理。
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