[实用新型]一种用于加工CPU晶圆产品的工装

摘要

本实用新型提供的一种用于加工CPU晶圆产品的工装，包括工作台板、工装板、定位销、张紧槽、固定槽和锁紧螺丝；工作台板位于加工设备上，工装板位于工作台板上，定位销位于工作台板和工装板之间，固定槽位于张紧槽的一侧，贯穿工装板；锁紧螺丝位于张紧槽内，贯穿张紧槽。本实用新型提供的一种用于加工CPU晶圆产品的工装，利用工装板的固定槽对晶圆进行装夹固定，同时利用张紧槽和锁紧螺丝的拧紧程度，调节张紧槽的张紧力，从而改变固定槽的尺寸进行夹紧，可以平滑增加夹紧力，防止晶圆在装夹时受力过猛产生损伤，另外固定槽可以将晶圆竖直夹紧，一次夹紧后只需要旋转工作台板就可以将晶圆的两面进行加工，不需要进行二次装夹，减少损伤的可能。

主权项

1.一种用于加工CPU晶圆产品的工装，其特征在于，包括工作台板、工装板、定位销、张紧槽、固定槽和锁紧螺丝；所述的工作台板位于加工设备上，跟随设备工作台自由转动；所述的工装板位于所述的工作台板上，与所述的工作台板固定连接；所述的定位销位于所述的工作台板和工装板之间，贯穿所述的工装板和工作台板，定位所述的工装板和工作台板；所述的张紧槽位于所述的工装板上，贯穿所述的工装板；所述的固定槽位于所述的张紧槽的一侧，贯穿所述的工装板；所述的锁紧螺丝位于所述的张紧槽内，贯穿所述的张紧槽，与所述的张紧槽螺纹连接。