[实用新型]一种管路清洗装置有效
| 申请号： | 201821963349.5 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN209918493U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 杨胜飞;陈呈杰;陈险峰;蔡吉明 | 申请（专利权）人： | 安徽三安气体有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027;B08B9/032 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体制造领域，尤其涉及一种管路清洗装置，包括清洗槽，循环泵、待清洗管路、连接循环泵与清洗槽的第一连接管、连接循环泵与待清洗管路进口端的第二连接管、连接待清洗管路出口端与清洗槽的第三连接管，所述第一连接管、第二连接管和第三连接管上分别设置有第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀，其特征在于：该清洗装置还包括设置于待清洗管路两端的反向进液管和反向出液管，所述反向进液管上设置于反向进液阀，所述反向出液管上设置有反向出液阀。 | ||
| 搜索关键词： | 连接管 清洗管路 控制阀 清洗槽 循环泵 出液管 进液管 半导体制造领域 管路清洗装置 本实用新型 反向出液阀 反向进液阀 清洗装置 出口端 进口 | ||
【主权项】：
1.一种管路清洗装置，包括清洗槽、循环泵、待清洗管路、连接循环泵与清洗槽的第一连接管、连接循环泵与待清洗管路进口端的第二连接管、连接待清洗管路出口端与清洗槽的第三连接管，所述第一连接管、第二连接管和第三连接管上分别设置有第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀，其特征在于：该清洗装置还包括设置于待清洗管路两端的反向进液管和反向出液管，所述反向进液管上设置于反向进液阀，所述反向出液管上设置有反向出液阀。/n
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