[实用新型]一种压力传感器有效
| 申请号： | 201821988377.2 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN208937219U | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 缪建民;曹峰 | 申请（专利权）人： | 华景传感科技(无锡)有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种压力传感器。该压力传感器包括：陶瓷基底和硅压力传感芯片；所述陶瓷基底包括相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面设置有凹槽作为压力背腔，所述压力传感芯片通过粘结层贴附于所述第二表面与所述凹槽对应的区域。本实用新型实施例提供了一种抗腐蚀、耐高温、高稳定性、高精度并且成本低的压力传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 压力传感芯片 本实用新型 第二表面 第一表面 陶瓷基 高稳定性 相对设置 抗腐蚀 耐高温 粘结层 背腔 贴附 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，其特征在于，包括：陶瓷基底和硅压力传感芯片；所述陶瓷基底包括相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面设置有凹槽作为压力背腔，所述压力传感芯片通过粘结层贴附于所述第二表面与所述凹槽对应的区域。
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