[实用新型]一种旋转靶材绑定的装置有效
申请号: | 201821990202.5 | 申请日: | 2018-11-29 |
公开(公告)号: | CN209256030U | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 陆映东;张倍维;梁盈祥;莫斌 | 申请(专利权)人: | 广西晶联光电材料有限责任公司 |
主分类号: | B23K1/00 | 分类号: | B23K1/00;B23K3/04;B23K3/08 |
代理公司: | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 | 代理人: | 韦微 |
地址: | 545616 广西壮族自治区柳州市柳*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种旋转靶材绑定的装置,包括机架、铟溢流封口头、具有加热功能的铟注入封口头组件、若干个靶材位置调节座、1对管支架和用于密封背管的油浴堵头、油浴加热堵头。铟溢流封口头通过1个管支架支撑在机架上,铟注入封口头组件放置在机架上交通过另1个管支架支撑,靶材位置调节座放置在机架上并位于铟溢流封口头和铟注入封口头组件之间。采用本实用新型进行旋转靶材绑定时,旋转靶材是平躺放置,绑定效果好。一方面,通过调整铟溢流封口头和铟注入封口头之间的距离,本实用新型能够适用于各种长度的旋转靶材绑定;另一方面,由于采用平躺放置的形式对旋转靶材进行绑定,不需要进行高空作业,且对厂房的高度没有特殊要求。 | ||
搜索关键词: | 封口头 旋转靶材 绑定 溢流 本实用新型 靶材位置 管支架 堵头 平躺 高空作业 加热功能 油浴加热 组件放置 背管 对管 油浴 支撑 支架 密封 厂房 | ||
【主权项】:
1.一种旋转靶材绑定的装置,其特征在于:包括机架(1)、铟溢流封口头(2)、具有加热功能的铟注入封口头组件(3)、若干个靶材位置调节座(6)、1对管支架(7)和用于密封背管的油浴堵头(4)、油浴加热堵头(5),所述机架主要是由操作平台(11)和安装在操作平台下方的支架(12)构成,所述操作平台上开有长条形通道(13),铟溢流封口头通过1个管支架支撑在操作平台的长条形通道上方,所述铟注入封口头组件(3)包括储铟槽(31)、铟注入封口头(34)、封头支架(32)、和用于加热储铟槽的加热器(33);所述铟溢流封口头和铟注入封口头均是由开有通孔的连接板和分别连接在连接板两侧的大管、小管构成,大管和小管之间相互连通,连接板具有上下连通的中空通道;所述储铟槽安装在封头支架上,铟注入封口头位于储铟槽下方,铟注入封口头的连接板与储铟槽底面连接,铟注入封口头连接板的中空通道即是连通储铟槽与连接板通孔的铟流出通道,铟注入封口头组件通过封头支架放置在操作平台的长条形通道上方,铟注入封口头通过另1个管支架支撑在操作平台上,靶材位置调节座(6)放置在操作平台的长条形通道上并位于铟溢流封口头和铟注入封口头组件之间;所述油浴堵头(4)设置有蒸汽槽(41)和与蒸汽槽连通的蒸汽出口Ⅰ(42);所述油浴加热堵头(5)设置有安装孔(51)和与安装孔连通的蒸汽出口Ⅱ(53),安装孔内安装有加热棒(52),安装孔的一端通过加热棒密封。
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