[实用新型]研磨装置有效
| 申请号： | 201821997440.9 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN209256648U | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 韩斌;辛君;林宗贤;吴龙江 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B08B5/04 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 佟婷婷 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种研磨装置，包括：研磨头结构；以及抽气装置，设置于研磨头结构上方，以除去研磨头结构上的污染物。本实用新型的研磨装置，通过抽气装置的设置，除去研磨头等结构上的颗粒等污染物，从而防止上述污染物掉落到研磨晶圆上，防止污染物对晶圆研磨效果的影响，改善颗粒散落风险，提升研磨效果，减少了晶圆因此而造成报废的情况，同时，对抽气装置进行改进，可移动的排气腔室有利于研磨装置的研磨头结构的更换。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨装置 研磨 研磨头 抽气装置 污染物 晶圆 本实用新型 排气腔室 可移动 掉落 散落 报废 改进 | ||
【主权项】：
1.一种研磨装置，其特征在于，包括：研磨头结构；以及抽气装置，设置于所述研磨头结构上方，以除去所述研磨头结构上的污染物。
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