[实用新型]排气集管、具有该排气集管的气动门及真空装置有效
| 申请号： | 201822007248.7 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN209113982U | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 星野孝雄;盐入信朗 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种排气集管、具有该排气集管的气动门及真空装置。排气集管包括：多个气体流入管；气体排出管；和容器部，其设置在所述气体排出管和所述多个气体流入管之间，具有排出口和多个流入口，所述多个气体流入管分别连接于对应的流入口，所述气体排出管连接于排出口，其特征在于，所有的流入口设置于所述容器部的一侧且朝一个方向开口。 | ||
| 搜索关键词： | 排气集管 气体排出管 流入管 流入口 真空装置 排出口 气动门 容器部 本实用新型 开口 | ||
【主权项】：
1.一种排气集管，包括：多个气体流入管；气体排出管；和容器部，其设置在所述气体排出管和所述多个气体流入管之间，具有排出口和多个流入口，所述多个气体流入管分别连接于对应的流入口，所述气体排出管连接于排出口，其特征在于，所有的流入口设置于所述容器部的一侧且朝一个方向开口。
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