[实用新型]传送手臂及传送系统有效
| 申请号： | 201822013721.2 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN209029341U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 李天涯;周冬成;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种传送手臂及传送系统中，所述传送手臂包括：支撑板以及嵌入所述支撑板中的超声波元件，所述超声波元件包括超声波发送装置及超声波接收装置，所述支撑板包括限位体和板体，所述限位体凸起于所述板体，且所述限位体位于所述板体的上表面。在每次传片前或传片时，所述传送手臂进入能够检测晶圆的区域后，所述超声波发送装置及超声波接收装置可以侦测晶圆产生实时信号。根据频率上的差异判断晶圆是否存在缺损以及裂纹，从而实现相应的机械动作，避免所述传送手臂传片时遇到晶圆存在缺损或裂纹的情况而导致传送手臂取片失败。 | ||
| 搜索关键词： | 手臂 传送 晶圆 限位体 支撑板 板体 超声波发送装置 超声波接收装置 超声波元件 传送系统 缺损 本实用新型 差异判断 机械动作 实时信号 上表面 取片 凸起 侦测 嵌入 检测 失败 | ||
【主权项】：
1.一种传送手臂，其特征在于，所述传送手臂包括：支撑板以及嵌入所述支撑板中的超声波元件，所述超声波元件包括超声波发送装置及超声波接收装置，所述支撑板包括限位体和板体，所述限位体凸起于所述板体，且所述限位体位于所述板体的上表面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
