[实用新型]一种石墨烯薄膜的制备装置有效
| 申请号： | 201822014534.6 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN209383394U | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 李卓娜;李昊伦 | 申请（专利权）人： | 长春光辐科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/184 | 分类号： | C01B32/184 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 谈杰 |
| 地址： | 130000 吉林省长春市高新技术产业开发区博才路与学苑街交*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种石墨烯薄膜的制备装置，包括：进样室、制备室和出样室，所述进样室、制备室和出样室依次连接，所述进样室外设置有第一红外线加热炉，所述制备室外设置有第二红外线加热炉，所述制备室侧壁上设置有第一进气阀，所述第一进气阀上方设有气体温度调节室，所述气体温度调节室顶部设置有第二进气阀，所述第二进气阀设置有两个，分别通过进气管与保护气体箱和生长气体箱相连，本实用新型结构简单，加热迅速、精准，腔体内气体的通入温度稳定，温差小，能有效提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 进气阀 制备室 红外线加热炉 气体温度调节 本实用新型 石墨烯薄膜 室外设置 制备装置 出样室 进样室 保护气体 顶部设置 体内气体 温度稳定 依次连接 进气管 气体箱 侧壁 进样 制备 加热 温差 生长 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯薄膜的制备装置，其特征在于，包括：进样室、制备室和出样室，所述进样室、制备室和出样室依次连接，所述进样室外设置有第一红外线加热炉，所述制备室外设置有第二红外线加热炉，所述进样室、制备室和出样室内设置有连通的滑轨，所述滑轨与进样室和出样室密封固定连接，所述滑轨上设置有薄膜制备箱，所述制备室侧壁上设置有第一进气阀，所述第一进气阀上方设有气体温度调节室，所述温度调节室设有温度调节装置，所述气体温度调节室顶部设置有第二进气阀，所述第二进气阀设置有两个，分别通过进气管与保护气体箱和生长气体箱相连，所述进样室和制备室侧壁上设置有真空泵和真空计，所述进样室和制备室内均设置有温度感应器，所述温度感应器与温度控制器电性连接，所述进样室顶部设置有进样口，所述出样室顶部设置有出样口，所述进样室一侧设置有推杆，所述出样室一侧设有磁性套杆，所述磁性套杆包括密封外壳和磁性滑柄，所述磁性滑柄顶端设有抓取部件。
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