[实用新型]真空镀膜机有效
申请号: | 201822016375.3 | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN209178472U | 公开(公告)日: | 2019-07-30 |
发明(设计)人: | 王孟良;陈春奇;陈卓;梅洪蕾;许进;周强;孟健;王孟仁;高春玲;梅艳红 | 申请(专利权)人: | 深圳天成真空技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/56 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;金宏望 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种真空镀膜机包括镀膜筒体、抽真空装置以及向镀膜筒体内输送镀膜材料的物料供给装置。镀膜筒体围出用于盛放待镀工件的容置腔,容置腔内安装有用于承载并驱动待镀工件转动的转动架,转动架包括大转盘和位于大转盘外缘的小转盘,大转盘的外环面设有第一齿牙,小转盘通过一固定轴安装于大转盘斜上方,且固定轴外还活动地套设有第一齿轮,固定轴的外表面向外凸设有第一卡合部,第一齿轮的内环面设置有与第一卡合部相配合的第二卡合部,小转盘通过第一齿轮和第一齿牙之间的连接实现与大转盘相啮合。使得本实用新型的真空镀膜机的大转盘和小转盘二者的运动模式多样化且使用起来更加灵活。 | ||
搜索关键词: | 大转盘 小转盘 真空镀膜机 固定轴 齿轮 镀膜 本实用新型 第一卡合部 待镀工件 容置腔 转动架 齿牙 物料供给装置 啮合 抽真空装置 第二卡合部 镀膜材料 运动模式 活动地 内环面 筒体围 外环面 斜上方 盛放 筒体 外凸 转动 承载 体内 驱动 灵活 配合 | ||
【主权项】:
1.一种真空镀膜机,包括镀膜筒体、抽真空装置以及向所述镀膜筒体内输送镀膜材料的物料供给装置,所述镀膜筒体围出用于盛放待镀工件的容置腔,其特征在于:所述容置腔内安装有用于承载并驱动待镀工件转动的转动架,所述转动架包括大转盘和位于大转盘外缘的小转盘,所述大转盘的外环面设有第一齿牙,所述小转盘通过一固定轴安装于所述大转盘斜上方,且所述固定轴外还活动地套设有第一齿轮,所述固定轴的外表面向外凸设有第一卡合部,所述第一齿轮的内环面设置有与所述第一卡合部相配合的第二卡合部,所述小转盘通过所述第一齿轮和所述第一齿牙之间的连接实现与所述大转盘相啮合。
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