[实用新型]一种步进式移动平台及锗单晶位错密度测试装置有效
| 申请号： | 201822048631.7 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN209690198U | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 张路;马会超;冯德伸 | 申请（专利权）人： | 北京国晶辉红外光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 11619 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人： | 佟林松<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 100088 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种步进式移动平台及锗单晶位错密度测试装置。该步进式移动平台包括底部支撑板、中部滑板和上部支撑台面，所述支撑台面上设有支撑圆环，所述中部滑板分别与所述底部支撑板和所述上部支撑台面滑动步进连接，并且所述底部支撑板相对于中部滑板的滑动方向与所述上部支撑台面相对于中部滑板的滑动方向互为垂直，所述支撑圆环与所述支撑台面转动步进连接。该装置包括上述的步进式移动平台。采用该装置测试锗单晶的位错密度，操作简单，方便实用，定位准确，读数精准的优势，提高工作效率，解决了现有技术中测试位错密度时存在的操作繁琐、读数有偏差、工作效率较低等技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑台面 滑板 步进式移动平台 底部支撑板 工作效率 滑动方向 支撑圆环 锗单晶 步进 位错 密度测试装置 本实用新型 定位准确 装置测试 滑动 测试位 支撑台 转动 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种步进式移动平台，其特征在于，包括底部支撑板(1)、中部滑板(2)和上部支撑台面(3)，所述支撑台面(3)上设有支撑圆环(4)，所述中部滑板(2)分别与所述底部支撑板(1)和所述上部支撑台面(3)滑动步进连接，并且所述底部支撑板(1)相对于中部滑板(2)的滑动方向与所述上部支撑台面(3)相对于中部滑板(2)的滑动方向互为垂直，所述支撑圆环(4)与所述支撑台面(3)转动步进连接。/n
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