[实用新型]一种晶圆抛光机零件加工工装有效
| 申请号： | 201822056889.1 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN209579207U | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 高鹏程 | 申请（专利权）人： | 苏州市兆恒众力精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06 |
| 代理公司： | 苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) 32268 | 代理人： | 冯现伟 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种晶圆抛光机零件加工工装，一种晶圆抛光机零件加工工装，包括支撑板、工作台板和工装基板；所述的支撑板位于所述的工作台板的下方，与所述的工作台板固定连接；所述的工装基板位于所述的工作台板上，与所述的工作台板固定连接。本实用新型提供的一种晶圆抛光机零件加工工装，利用工装板的锁紧螺母对张紧槽进行扩张，在扩张时压紧工件槽，从而夹紧待加工的工件，加工时利用避位槽使得产品加工不受工装外形的影响，这种不直接接触工件的夹紧方式可以防止装夹过程中工件产生的变形，以及表面受损，提高产品精度和光洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 工作台板 工装 零件加工 抛光机 种晶 本实用新型 工装基板 支撑板 光洁度 不直接接触 产品加工 夹紧方式 锁紧螺母 压紧工件 避位槽 工装板 张紧槽 夹紧 装夹 加工 变形 受损 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆抛光机零件加工工装，其特征在于，包括支撑板、工作台板和工装基板；所述的支撑板位于所述的工作台板的下方，与所述的工作台板固定连接；所述的工装基板位于所述的工作台板上，与所述的工作台板固定连接；所述的工装基板上设置有工件槽和张紧槽，所述的工件槽位于所述的工装基板的表面，承载代加工的工件；所述的张紧槽位于所述的工件槽的一侧，延伸至所述的工装基板的内部。
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