[实用新型]基板处理装置有效
| 申请号： | 201822067567.7 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN209598937U | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 孙昞澈 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/32;B24B37/34;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健;张国香 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及基板处理装置，包括：承载头；托架，其供基板放置，使基板加载于承载头；加压力缓和部，其配备于托架，使因承载头与基板的接触而作用于基板的加压力缓和。 | ||
| 搜索关键词： | 承载头 基板处理装置 加压力 基板 托架 本实用新型 缓和 基板放置 基板加载 配备 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：承载头；托架，其供基板放置，使所述基板加载于所述承载头；加压力缓和部，其配备于所述托架，使因所述承载头与所述基板的接触而作用于所述基板的加压力缓和。
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