[实用新型]一种真空腔室与一种观察窗有效
| 申请号： | 201822072403.3 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN209537618U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 杨涛;王烨;吴国发 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京清源汇知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11644 | 代理人： | 冯德魁;窦晓慧 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种真空腔室，所述真空腔室包括观察窗，所述观察窗安置于所述真空腔室的溅射系统区域，用于实时观察溅射系统区域的辉光放电；在所述观察窗靠近所述真空腔室的一侧设有挡片，所述挡片通过旋动手柄与所述观察窗外侧相连，所述挡片通过所述旋动手柄旋转角度调整对所述观察窗的遮挡程度。本申请真空腔室的观察窗设置于溅射系统区域，观察窗的安装位置适合观察者清楚观察溅射系统区域的辉光放电情况，同时在不需要观察时，采用挡片将所述观察窗挡住，防止溅射系统区域对观察窗镀膜，同时还能减少因辉光放电对人体的伤害。 | ||
| 搜索关键词： | 观察窗 真空腔室 溅射系统 挡片 辉光放电 旋动手柄 观察 旋转角度调整 实时观察 镀膜 申请 遮挡 挡住 安置 伤害 | ||
【主权项】：
1.一种真空腔室，其特征在于，所述真空腔室包括观察窗，所述观察窗安置于所述真空腔室的溅射系统区域，用于实时观察溅射系统区域的辉光放电；在所述观察窗靠近所述真空腔室的一侧设有挡片，所述挡片通过旋动手柄与所述观察窗外侧相连，所述挡片通过所述旋动手柄旋转角度调整对所述观察窗的遮挡程度。
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