[实用新型]一种防漏硅护盘及单晶炉有效
| 申请号： | 201822075740.8 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN209114035U | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 王少辉;杨杰;王永利;姚建科;王江锋 | 申请（专利权）人： | 丽江隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 674802 云南省*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种防漏硅护盘，包括第一金属板和第二金属板，第一金属板和第二金属板叠层设置，第一金属板靠近单晶炉炉体内的炉体底部。第二金属板设置在第一金属板上，并位于单晶炉炉体内的坩埚的下方，第一金属板和第二金属板上还分别设置有与炉体底部上的安装孔位置相对应的多个安装孔。第二金属板为用于防止单晶炉内的硅液烧穿的金属板。本实用新型还提供了一种单晶炉。采用了上述技术方案，第一金属板和第二金属板通过安装孔与炉体底部紧固连接，当坩埚破裂发生大面积硅液泄漏时，硅液流入防漏硅护盘的第二金属板上，由于第二金属板为防止硅液烧穿的金属板，可以对炉体底部进行防护，防止硅液烧坏炉体底部，对其它零部件造成损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 金属板 单晶炉 炉体 硅液 防漏 护盘 本实用新型 安装孔 烧穿 坩埚 体内 安装孔位置 烧坏 大面积硅 紧固连接 叠层 零部件 泄漏 防护 破裂 | ||
【主权项】：
1.一种防漏硅护盘，其特征在于，包括第一金属板和第二金属板，所述第一金属板和所述第二金属板叠层设置；所述第一金属板靠近单晶炉炉体内的炉体底部；所述第二金属板设置在所述第一金属板上，并位于所述单晶炉炉体内的坩埚的下方，所述第一金属板和所述第二金属板上还分别设置有与所述炉体底部上的安装孔位置相对应的多个安装孔；所述第二金属板为用于防止所述单晶炉内的硅液烧穿的金属板。
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