[实用新型]一种半导体产品的清洗机

摘要

本实用新型提供一种半导体产品的清洗机，包括工作台，支撑脚，超声波机构，吊篮机构，清洗机构，水泵，储液箱，顶盖，观察窗，工控机和电源线，本实用新型的超声波机构，加热板和温度传感器的设置，工控机控制散热风扇通电运行，配合散热孔对超声波发生器散热，有效的避免超声波发生器长时间运行出现温度过高停机的现象，提高超声波发生器的工作效率及使用寿命，工控机控制加热板通电运行，对清洗液进行加热，采用温热的清洗液进行清洗，提高清洗效果，便于后续的干燥作业，在温度传感器上设置温度值，当温度传感器检测的温度值达到设定值时，工控机控制加热板断电停止运行，保证清洗液的温度保持在适宜范围。

主权项

1.一种半导体产品的清洗机，其特征在于：包括工作台(1)，支撑脚(2)，超声波机构(3)，吊篮机构(4)，清洗机构(5)，水泵(6)，储液箱(7)，顶盖(8)，观察窗(9)，工控机(10)和电源线(11)，所述支撑脚(2)采用四个，通过螺栓固定在工作台(1)的下方四角；所述清洗机构(5)通过螺栓固定在工作台(1)的上方右侧；所述顶盖(8)通过螺纹固定在清洗机构(5)的上方；所述观察窗(9)采用透明材质，嵌装在顶盖(8)的中间位置；所述工控机(10)通过螺栓固定在清洗机构(5)右侧的中间位置；所述电源线(11)嵌装在工控机(10)的下方，通过导线与工控机(10)相连；所述储液箱(7)通过螺栓固定在工作台(1)的上方，位于清洗机构(5)的左侧；所述水泵(6)通过螺栓固定在储液箱(7)的上方，通过管道与储液箱(7)相连；通过导线与工控机(10)相连；所述吊篮机构(4)卡接在清洗机构(5)的内部；所述超声波机构(3)通过螺栓固定在工作台(1)下方的中间位置。