[实用新型]单晶炉热屏结构有效
| 申请号： | 201822079513.2 | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN209227096U | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 吴建科 | 申请（专利权）人： | 中卫市银阳新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州昱呈专利代理事务所(普通合伙) 33303 | 代理人： | 雷仕荣 |
| 地址： | 755000 宁夏回族自*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶炉热屏结构，包括外胆体、内胆体、水冷组件和屏蔽筒，所述内胆体套设在外胆体内，所述水冷组件包括水冷胆体、水管和支撑环，所述水冷胆体套设在内胆体内，所述水管至少为两根，一端连通在水冷胆体上，另一端固定在支撑环上，所述支撑环位于水冷胆体的上方，所述屏蔽筒套设在水冷胆体内。其大大改善了热场内部纵向温度梯度，提高了单晶体硅的生长速度。 | ||
| 搜索关键词： | 水冷 胆体 支撑环 水冷组件 体内 单晶炉 内胆体 屏蔽筒 热屏 水管 纵向温度梯度 本实用新型 单晶体 外胆体 内胆 外胆 连通 生长 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉热屏结构，其特征在于，包括外胆体、内胆体、水冷组件和屏蔽筒，所述内胆体套设在外胆体内，所述水冷组件包括水冷胆体、水管和支撑环，所述水冷胆体套设在内胆体内，所述水管至少为两根，一端连通在水冷胆体上，另一端固定在支撑环上，所述支撑环位于水冷胆体的上方，所述屏蔽筒套设在水冷胆体内。
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