[实用新型]裸片切割及堆叠式装置结构有效
| 申请号： | 201822115839.6 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN209119075U | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | G·哈里哈兰;R·沙威尔;I·辛格 | 申请（专利权）人： | 赛灵思公司 |
| 主分类号： | H01L23/31 | 分类号： | H01L23/31 |
| 代理公司： | 北京市君合律师事务所 11517 | 代理人： | 毛健;顾云峰 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请描述了用于从相应工件切割裸片的技术，以及将一个或多个切割的裸片结合到堆叠式装置结构中的技术。在一些实施例中，从工件切割裸片包括在切割线中化学蚀刻工件。在一些实施例中，从工件切割裸片包括在切割线中机械切割工件并沿着裸片的侧壁形成衬垫。裸片可以被结合到堆叠式装置结构中。裸片可以沿着附接到基板上的另一裸片而附接到基板上。封装物可以位于每一个裸片和基板之间，并且横向地位于裸片之间。 | ||
| 搜索关键词： | 裸片 堆叠式装置 工件切割 基板 切割线 切割 化学蚀刻 机械切割 封装物 侧壁 申请 | ||
【主权项】：
1.一种结构，其特征在于，所述结构包括：基板；第一裸片，所述第一裸片具有第一侧壁，所述第一侧壁具有至少一个第一凹痕，所述第一裸片被附接至所述基板；以及封装物，所述封装物位于所述第一裸片与所述基板之间，所述封装物被设置在所述第一凹痕中并被粘合到所述第一凹痕的第一表面。
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