[实用新型]用于光刻加工的烘胶台有效
| 申请号： | 201822117221.3 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN209460576U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 谢孝民;郭金城 | 申请（专利权）人： | 苏州汶颢微流控技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 冯瑞 |
| 地址： | 215808 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于光刻加工的烘胶台，包括壳体以及铰接于所述壳体上的盖板；所述壳体顶部开口，所述开口处固定设置有加热盘，所述加热盘内设有加热丝，加热盘上贴合固定有烘胶台面；所述壳体的侧壁上设有电源接口，壳体的底板上设有分别与所述电源接口和加热丝电连接的开关电源；壳体的底板上还设置有用于控制电路导通的固态继电器以及用于控制加热温度的控温模块；所述壳体的底板上位于加热盘正下方的位置设有散热风扇，所述壳体的侧壁和底板上均设有多个散热孔。本实用新型的用于光刻加工的烘胶台，可以对光刻胶进行前烘、中烘和后烘，且具有烘胶速度快、均匀、控温精度高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 壳体 底板 烘胶 加热盘 光刻 电源接口 加热丝 侧壁 加工 壳体顶部开口 本实用新型 固态继电器 固定设置 开关电源 控温模块 控制电路 散热风扇 贴合固定 电连接 开口处 散热孔 盖板 台面 导通 后烘 铰接 控温 前烘 加热 | ||
【主权项】：
1.一种用于光刻加工的烘胶台，包括壳体以及铰接于所述壳体上的盖板，其特征在于，所述壳体顶部开口，所述开口处固定设置有加热盘，所述加热盘内设有加热丝，加热盘上贴合固定有烘胶台面；所述壳体的侧壁上设有电源接口，壳体的底板上设有分别与所述电源接口和加热丝电连接的开关电源；壳体的底板上还设置有用于控制电路导通的固态继电器以及用于控制加热温度的控温模块；所述壳体的底板上位于加热盘正下方的位置设有散热风扇，所述壳体的侧壁和底板上均设有多个散热孔。
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