[实用新型]一种硅片存储装置有效
| 申请号： | 201822117888.3 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN209045518U | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 李永杰;张建峰;朱元;王森 | 申请（专利权）人： | 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 224431 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片存储装置，涉及太阳能电池生产技术领域。该硅片存储装置包括用于收纳硅片的收纳机构，所述收纳机构包括开口，所述硅片存储装置还包括挡片机构，所述挡片机构包括挡板及驱动组件，所述挡板设置于所述开口的一侧；所述驱动组件与所述挡板连接，所述驱动组件被配置为能够驱动所述挡板遮挡部分所述开口，以与所述硅片的端部抵接。该硅片存储装置中设置有挡片机构，当硅片放入到收纳机构中后，挡片机构中的挡板在驱动组件的驱动下向开口方向移动，从而遮挡部分开口，避免硅片被向外带出收纳机构，提高硅片存放的稳定性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 挡板 硅片存储 硅片 驱动组件 收纳机构 挡片 开口 遮挡 太阳能电池生产 本实用新型 驱动 开口方向 收纳 外带 抵接 放入 移动 配置 | ||
【主权项】：
1.一种硅片存储装置，包括用于收纳硅片(4)的收纳机构，所述收纳机构设置有开口(14)，其特征在于，所述硅片存储装置还包括挡片机构，所述挡片机构包括：挡板(21)，所述挡板(21)设置于所述开口(14)的一侧；及驱动组件，所述驱动组件与所述挡板(21)连接，所述驱动组件被配置为能够驱动所述挡板(21)遮挡所述开口(14)的部分区域，以与所述硅片(4)的端部抵接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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