[实用新型]一种单晶炉真空系统有效
| 申请号： | 201822125418.1 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN209243246U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 李润飞;赵京通;李永哲;张路法;张松;高志民 | 申请（专利权）人： | 河北晶龙阳光设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 石家庄德皓专利代理事务所(普通合伙) 13129 | 代理人： | 杨瑞龙;刘磊娜 |
| 地址： | 055550 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种单晶炉真空系统，其包括与单晶炉连接的真空管道、设置在所述真空管道上的球阀和充气阀、与所述真空管道连接的除尘设备及与所述除尘设备连接的真空泵，所述真空管道与所述除尘设备的底部连接，所述真空泵与所述除尘设备的上部连接；所述除尘设备包括除尘罐和设置在所述除尘罐内的过滤装置，所述过滤装置包括设置在所述除尘罐顶部的电磁阀、通过弹簧吊装在所述除尘罐内的过滤网及设置在所述除尘罐下部的落灰仓，所述过滤网的开口向下；所述真空管道和真空泵分别通过波纹管连接在所述过滤网的下方和上方，所述真空管道通过波纹管与所述落灰仓连接。 | ||
| 搜索关键词： | 除尘设备 真空管道 除尘罐 单晶炉 过滤网 真空泵 过滤装置 真空系统 波纹管 落灰仓 除尘 真空管 本实用新型 弹簧吊装 底部连接 开口向下 充气阀 电磁阀 球阀 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉真空系统，其特征在于：其包括与单晶炉连接的真空管道（1）、设置在所述真空管道（1）上的球阀（2）和充气阀（3）、与所述真空管道（1）连接的除尘设备及与所述除尘设备连接的真空泵（4），所述真空管道（1）与所述除尘设备的底部连接，所述真空泵（4）与所述除尘设备的上部连接；所述除尘设备包括除尘罐（5）和设置在所述除尘罐（5）内的过滤装置，所述过滤装置包括设置在所述除尘罐（5）顶部的电磁阀（6）、通过弹簧（7）吊装在所述除尘罐（5）内的过滤网（8）及设置在所述除尘罐（5）下部的落灰仓（9），所述过滤网（8）的开口向下；所述真空管道（1）和真空泵（4）分别通过波纹管（10）连接在所述过滤网（8）的下方和上方，所述真空管道（1）通过波纹管（10）与所述落灰仓（9）连接。
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