[实用新型]一种半导体器件清洗工装

摘要

本实用新型公开了一种半导体器件清洗工装，包括底座，所述底座上侧设置有清洗箱体、支撑座和电动机，所述电动机位于支撑座内部，所述电动机通过联轴器和转动轴一端连接，侧板一侧设置有限位板，转盘上方设置有第一兆声喷头，所述第一兆声喷头和第一水管一端连接，所述第一水管另一端穿出转盘上的通孔并与第一兆声发生器和第一过滤箱连接，所述清洗箱体上侧穿入有第二水管和第二气管，所述第二水管上安装有第二过滤箱和第二兆声发生器，所述第二气管下端设置有第二喷气头。本实用新型通过油污排出管一端穿出底座一侧，污水排出管一端穿出底座另一侧，油污排出管和污水排出管与油水分离器配合，方便将污水进行油水分离。

主权项

1.一种半导体器件清洗工装，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上侧设置有清洗箱体(6)、支撑座(21)和电动机(22)，所述清洗箱体(6)前表面通过合页和箱门(5)铰接，两个所述箱门(5)交接处通过安全锁连接，所述电动机(22)位于支撑座(21)内部，所述电动机(22)通过联轴器和转动轴一端连接，转动轴另一端焊接在转盘下表面，转盘下侧设置有限位圈，限位圈套接在支撑座(21)上，转盘上侧设置有侧板，侧板一侧设置有限位板(18)，所述限位板(18)上侧设置有吸盘(11)，转盘上方设置有第一兆声喷头(12)，所述第一兆声喷头(12)和第一水管(3)一端连接，所述第一水管(3)另一端穿出转盘上的通孔并与第一兆声发生器(20)和第一过滤箱(4)连接，转盘上的另一个通孔内穿入有第一气管(10)，所述第一气管(10)一端设置有第一喷气头，所述清洗箱体(6)上侧穿入有第二水管(9)和第二气管(14)，所述第二水管(9)位于清洗箱体(6)内部的一端安装有第二兆声喷头(17)，所述第二水管(9)上安装有第二过滤箱(8)和第二兆声发生器(7)，所述第二气管(14)下端设置有第二喷气头(13)，所述第一过滤箱(4)和第二过滤箱(8)内部均设置有过滤网(15)，所述第一过滤箱(4)和第二过滤箱(8)上均设置有排污管，排污管上安装有排污阀，所述底座(1)上的导水孔和底座(1)内部的收集箱(19)导通，所述收集箱(19)内部设置有油水分离器(16)，所述收集箱(19)底部设置有油污排出管(2)和污水排出管。