[实用新型]一种坩埚有效
| 申请号： | 201822137006.X | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN209338648U | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 李佳乐;陈文祥;李浩永;曹景博 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种坩埚，包括：坩埚本体，内部形成顶部开口的坩埚腔；与坩埚本体连接以盖合顶部开口的坩埚盖，坩埚盖设有一出气孔；置于坩埚腔内部、且安装于坩埚本体底部的导向杆，沿坩埚本体的顶部指向底部方向延伸；置于坩埚腔内、且可相对于坩埚本体沿导向杆延伸方向动作的下压块，当坩埚腔内填充有蒸镀材料时，下压块朝向坩埚本体底部的表面与坩埚腔内的蒸镀材料的表面相接触。本申请通过在坩埚内部设置下压块，下压块随着蒸镀材料的减少而下降将材料向两侧挤压，使得蒸镀材料能够在坩埚内分布均匀，避免蒸镀材料聚集在坩埚中心，从而保持加热速率稳定，防止蒸镀材料裂解。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀材料 坩埚本体 坩埚腔 下压块 坩埚 顶部开口 导向杆 坩埚盖 本实用新型 底部方向 内部设置 坩埚中心 出气孔 延伸 盖合 裂解 加热 填充 挤压 指向 申请 | ||
【主权项】：
1.一种坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体，所述坩埚本体内形成顶部开口的坩埚腔；与所述坩埚本体连接以盖合所述顶部开口的坩埚盖，所述坩埚盖设有一出气孔；置于所述坩埚腔内部、且安装于所述坩埚本体底部的导向杆，所述导向杆沿所述坩埚本体的顶部指向底部方向延伸；置于所述坩埚腔内、且可相对于所述坩埚本体沿所述导向杆延伸方向动作的下压块，当所述坩埚腔内填充有蒸镀材料时，所述下压块朝向所述坩埚本体底部的表面与所述坩埚腔内的蒸镀材料的表面相接触。
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