[实用新型]一种硅片非接触输送装置有效

专利信息
申请号: 201822141686.2 申请日: 2018-12-20
公开(公告)号: CN209321758U 公开(公告)日: 2019-08-30
发明(设计)人: 张弛;王志刚;王四海 申请(专利权)人: 南京卓胜自动化设备有限公司
主分类号: B65G13/00 分类号: B65G13/00
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 肖明芳
地址: 211162 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种硅片非接触输送装置,包括第一滚轴固定座、第二滚轴固定座、伺服电机、支架,以及位于第一滚轴固定座内的两个以上的第一滚轴,位于第二滚轴固定座内的内的两个以上的第二滚轴;第一滚轴固定座与第二滚轴固定座首尾相接,第一滚轴固定座的首端外壁与第二滚轴固定座尾端内壁相接触,通过贯穿的主动轴进行连接,主动轴通过伺服电机驱动旋转;第一滚轴固定座的首端设有一个第一滚轴,主动轴贯穿该第一滚轴;相邻的两个滚轴之间依次通过皮带连接,通过主动轴旋转驱动所有的滚轴进行旋转,从而将滚轴上方的硅片进行输送。
搜索关键词: 滚轴 固定座 主动轴 硅片 非接触输送装置 首端 伺服电机驱动 本实用新型 固定座尾端 皮带连接 首尾相接 伺服电机 旋转驱动 贯穿 内壁 外壁 支架
【主权项】:
1.一种硅片非接触输送装置,其特征在于,包括第一滚轴固定座(21)、第二滚轴固定座(22)、伺服电机(6)、支架(7),以及位于第一滚轴固定座(21)内的两个以上的第一滚轴(11),位于第二滚轴固定座(22)内的内的两个以上的第二滚轴(12);所述第一滚轴固定座(21)与第二滚轴固定座(22)首尾相接,第一滚轴固定座(21)的首端外壁与第二滚轴固定座(22)尾端内壁相接触,通过贯穿的主动轴(4)进行连接,主动轴(4)通过伺服电机(6)驱动旋转;第一滚轴固定座(21)的首端设有一个第一滚轴(11),主动轴(4)贯穿该第一滚轴(11);相邻的两个滚轴之间依次通过皮带(3)连接,通过主动轴(4)旋转驱动所有的滚轴进行旋转,从而将滚轴上方的硅片(9)进行输送;第一滚轴固定座(21)与第二滚轴固定座(22)首尾相接处通过底部的支架(7)进行支撑。
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