[实用新型]一种设有偏心卡钉的石墨舟有效
| 申请号： | 201822150058.0 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN209418526U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 王建康 | 申请（专利权）人： | 杭州大和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/673;C23C16/458 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 310053 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种设有偏心卡钉的石墨舟，包括卡钉本体和石墨舟本体，卡钉本体包括压入部和卡接部，压入部与卡接部偏心设置，石墨舟本体上设有多个压入孔，所述压入孔与压入部适配。本实用新型提供了一种设有偏心卡钉的石墨舟，实现不更换石墨舟和卡钉，仅调整卡钉安装角度就能适配出不同对边距的硅片的功能；且具有切换时间短，结构简单，降低制造成本等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨舟 偏心卡 压入部 卡钉 本实用新型 卡接部 压入孔 适配 偏心设置 制造成本 调整卡 硅片 对边 | ||
【主权项】：
1.一种设有偏心卡钉的石墨舟，其特征是，包括卡钉本体和石墨舟本体，包括卡钉本体和石墨舟本体，卡钉本体包括压入部和卡接部，压入部与卡接部偏心设置，石墨舟本体上设有多个压入孔，所述压入孔与压入部适配。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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