[实用新型]一种全自动晶片刷洗机有效
| 申请号： | 201822154075.1 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN209271960U | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 谢德元 | 申请（专利权）人： | 苏州恒力翔自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B1/04;B08B3/02;B08B3/08;B08B5/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区阳*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种全自动晶片刷洗机，一种全自动晶片刷洗机，所述中央传片机械手组件设置在工作台的中央，所述第一进料载台组件和第二进料载台组件对称设置在中央传片机械手组件的一侧，所述第一出料载台组件和第二出料载台组件对称设置在中央传片机械手组件的另一侧，所述第二进料载台组件和第二出料载台组件呈对称分布，所述第一刷洗组件、第二刷洗组件、第一进料载台组件、第二进料载台组件、第一出料载台组件和第二出料载台组件分别通过螺栓固定在工作台上，所述第一刷洗组件和第二刷洗组件分别通过螺栓固定在工作台上，用二流体将(水和气)混合冲击将晶片表面的颗粒，提高晶片表面的洁净度；采用一站式刷洗，减少晶片的二次污染。 | ||
| 搜索关键词： | 出料载台 载台 刷洗组件 晶片 机械手组件 刷洗机 对称设置 晶片表面 螺栓固定 本实用新型 对称分布 二次污染 洁净度 一站式 工作台 流体 | ||
【主权项】：
1.一种全自动晶片刷洗机，包括工作台(1)、中央传片机械手组件(2)、第一刷洗组件(3)、第二刷洗组件(4)、第一进料载台组件(5)、第二进料载台组件(6)、第一出料载台组件(7)和第二出料载台组件(8)，其特征在于：所述中央传片机械手组件(2)设置在工作台(1)的中央，所述第一进料载台组件(5)和第二进料载台组件(6)对称设置在中央传片机械手组件(2)的一侧，所述第一出料载台组件(7)和第二出料载台组件(8)对称设置在中央传片机械手组件(2)的另一侧，所述第一进料载台组件(5)和第一出料载台组件(7)呈对称分布，所述第二进料载台组件(6)和第二出料载台组件(8)呈对称分布，所述第一刷洗组件(3)、第二刷洗组件(4)、第一进料载台组件(5)、第二进料载台组件(6)、第一出料载台组件(7)和第二出料载台组件(8)分别通过螺栓固定在工作台(1)上，所述第一刷洗组件(3)和第二刷洗组件(4)分别设置在中央传片机械手组件(2)的另外两侧，所述第一刷洗组件(3)和第二刷洗组件(4)分别通过螺栓固定在工作台(1)上。
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