[实用新型]一种多源共蒸发取样装置及多源共蒸发镀膜系统有效
| 申请号： | 201822170577.3 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN209836285U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 黄春泉;牙侯固 | 申请（专利权）人： | 华夏易能(广东)新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;G01N1/02 |
| 代理公司： | 11662 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孟德栋 |
| 地址： | 517000 广东省河源市高新技术产业*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种多源共蒸发取样装置及多源共蒸发镀膜系统，所述多源共蒸发镀膜系统包括真空蒸发腔和设于所述真空蒸发腔内的至少一个金属蒸发源，所述多源共蒸发取样装置包括至少一个取样单元，所述取样单元与所述金属蒸发源一一对应，所述取样单元设于所述真空蒸发腔的外壁，所述取样单元内设有与所述真空蒸发腔连通的取样通道，所述取样通道的底部设有载玻片容纳槽，所述载玻片容纳槽内可拆卸地设有载玻片，所述载玻片与所述取样通道的轴线垂直。本申请中的多源共蒸发取样装置取样路径便捷，取样速度较快，取样结果准确，提高了取样的质量，进而提高了数据监测的准确性，极大地提高了对金属蒸发源的控制质量，达到提高镀膜质量的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 共蒸发 多源 取样单元 金属蒸发源 取样通道 取样装置 镀膜系统 容纳槽 载玻片 玻片 取样 本实用新型 取样结果 取样路径 数据监测 轴线垂直 可拆卸 镀膜 腔内 外壁 连通 申请 | ||
【主权项】：
1.一种多源共蒸发取样装置，用于多源共蒸发镀膜系统，所述多源共蒸发镀膜系统包括真空蒸发腔(1)和设于所述真空蒸发腔(1)内的至少一个金属蒸发源，其特征在于，所述多源共蒸发取样装置包括至少一个取样单元，所述取样单元与所述金属蒸发源一一对应，所述取样单元设于所述真空蒸发腔的外壁(10)，所述取样单元内设有与所述真空蒸发腔(1)连通的取样通道，所述取样通道的底部设有载玻片容纳槽(20)，所述载玻片容纳槽(20)内可拆卸地设有载玻片，所述载玻片与所述取样通道的轴线垂直。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华夏易能(广东)新能源科技有限公司，未经华夏易能(广东)新能源科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201822170577.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于压铸模具渗氮的装置
- 下一篇：一种蒸镀装置
- 同类专利
- 专利分类
