[实用新型]线性蒸镀设备用晶振控制系统有效
| 申请号： | 201822181251.0 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN209602624U | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 武启飞;徐飞;廖良生;赵鹏鹏;闫洪刚 | 申请（专利权）人： | 苏州方昇光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 蒋慧妮 |
| 地址： | 215021 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种线性蒸镀设备用晶振控制系统，包括设置在蒸镀室内的支架、固定设置于支架上的至少两个晶振探头组件、固定设置于蒸镀室内的挡板、及用于驱动所述支架移动的驱动机构，挡板上开设有对应所述晶振探头组件的开口，晶振探头组件包括有至少两个呈直线排布的晶振探头，其中一个所述晶振探头与所述开口对应设置；驱动机构驱动所述支架沿平行于所述晶振探头排布方向的方向移动。本实用新型采用多个晶振探头，通过驱动组件进行移动切换，有效的对晶振探头进行更替，保证了蒸镀的连续性，提高了蒸镀效率。 | ||
| 搜索关键词： | 晶振 探头 蒸镀 探头组件 支架 本实用新型 挡板 固定设置 控制系统 驱动机构 蒸镀设备 开口 室内 驱动 方向移动 驱动组件 移动切换 支架移动 直线排布 排布 更替 平行 保证 | ||
【主权项】：
1.线性蒸镀设备用晶振控制系统，其特征在于：包括设置在蒸镀室内的支架、固定设置于支架上的至少两个晶振探头组件、固定设置于蒸镀室内的挡板、及用于驱动所述支架移动的驱动机构，所述挡板上开设有对应所述晶振探头组件的开口，所述晶振探头组件包括有至少两个呈直线排布的晶振探头，其中一个所述晶振探头与所述开口对应设置；所述驱动机构驱动所述支架沿平行于所述晶振探头排布方向的方向移动。
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