[实用新型]一种具有修整功能的抛光垫刷盘有效

专利信息
申请号: 201822188639.3 申请日: 2018-12-25
公开(公告)号: CN209364390U 公开(公告)日: 2019-09-10
发明(设计)人: 王永成 申请(专利权)人: 上海致领半导体科技发展有限公司
主分类号: B24B53/017 分类号: B24B53/017
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201319 上海市浦东新区*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供一种具有修整功能的抛光垫刷盘,包括背板、弹簧、修整器、刷盘以及螺丝,背板呈扁圆形结构,上面开有若干供所述螺丝穿过的通孔,刷盘的正面设有若干毛刷,刷盘背面的圆周方向上开有若干台阶孔,各台阶孔内用于放置一修整器,修整器安装在所述台阶孔内并从所述台阶孔内伸出,背板盖合在所述刷盘的背面并通过螺丝将刷盘固定在背板上,各台阶孔内设有一弹簧,弹簧的一端抵靠在修整器上,另一端抵靠在背板上。本实用新型将抛光垫刷盘和抛光垫修整器两者集成于一体,可同时完成两道工艺,提高了抛光垫的维护效率,降低操作人员的劳动强度,减少抛光垫维护的成本,使得抛光垫的清洁度和抛光精度同时能够得到保证。
搜索关键词: 刷盘 抛光垫 台阶孔 修整器 背板 弹簧 螺丝 本实用新型 修整 抛光垫修整器 扁圆形结构 清洁度 背板盖 抛光 毛刷 通孔 背面 穿过 伸出 维护 保证
【主权项】:
1.一种具有修整功能的抛光垫刷盘,其特征在于,包括背板、弹簧、修整器、刷盘以及螺丝,所述背板呈扁圆形结构,上面开有若干供所述螺丝穿过的通孔,所述刷盘的正面设有若干毛刷,所述刷盘背面的圆周方向上开有若干台阶孔,各所述台阶孔内用于放置一修整器,所述修整器安装在所述台阶孔内并从所述台阶孔内伸出,所述背板盖合在所述刷盘的背面并通过螺丝将刷盘固定在背板上,各所述台阶孔内设有一弹簧,所述弹簧的一端抵靠在所述修整器上,另一端抵靠在所述背板上。
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