[实用新型]多晶硅片打磨装置

摘要

本实用新型涉及太阳能电池用硅片制绒机，具体涉及多晶硅片打磨装置。一种多晶硅片打磨装置，所述多晶硅片打磨装置包括制绒设备、清洗设备和抽风设备，所述制绒设备和清洗设备相连；所述抽风设备包括抽风管、抽风泵和信号采集系统；所述抽风泵和信号采集系统设置在所述抽风管中，抽风设备的抽风端连接所述清洗设备的清洗室。所述多晶硅片打磨装置，能够及时排出并处理氟化物，从而能够保证多晶硅片打磨工艺能够精准、安全、环保地进行。

主权项

1.一种多晶硅片打磨装置，所述多晶硅片打磨装置包括相连的制绒设备（100）和清洗设备（200），其特征在于，还包括抽风设备（300），所述抽风设备（300）包括抽风管（310）、抽风泵（320）和信号采集系统（330）；所述抽风泵（320）和信号采集系统（330）设置在所述抽风管（310）中，抽风设备（300）的抽风端连接所述清洗设备（200）的清洗室。