[实用新型]一种用于管式PECVD的进气装置

摘要

本实用新型公开了一种用于管式PECVD的进气装置，包括炉体、第一集气装置、第二集气装置、第一管路组件、第二管路组件和真空泵，炉体顶部位于炉口和炉尾处分别设有第一进气孔和第二进气孔；第一管路组件包括第一管体和第二管体，第一管体和第二管体的一端均与第一集气装置相连，二者的另一端分别与第一进气孔和第二进气孔相连；第二管路组件包括第三管体和第四管体，第三管体和第四管体的一端均与第二集气装置相连，二者的另一端分别与第一进气孔和第二进气孔相连；真空泵设于炉体外部，且与炉体内部连通。本实用新型将一路气体输送改成两路，将单纯的炉口进气更改为在炉管的炉口顶部和炉尾顶部分别进气，能够保证炉口与炉尾的气体分布一致，使得管内均匀性得到改善。

主权项

1.一种用于管式PECVD的进气装置，其特征在于，包括：/n炉体，所述炉体内为空腔结构，用于放置待镀膜物件，所述炉体顶部位于炉口和炉尾处分别设有第一进气孔和第二进气孔；/n第一集气装置；/n第二集气装置；/n第一管路组件，所述第一管路组件包括第一管体和第二管体，所述第一管体和第二管体的一端均与所述第一集气装置的出口相连，二者的另一端分别与所述第一进气孔和第二进气孔相连通；/n第二管路组件，所述第二管路组件包括第三管体和第四管体，所述第三管体和第四管体的一端均与所述第二集气装置的出口相连，二者的另一端分别与所述第一进气孔和第二进气孔相连通；/n真空泵，所述真空泵设于所述炉体的外部，且与所述炉体内部连通。/n