[实用新型]一种用于PVD真空镀膜的高密封性门有效
| 申请号： | 201822196798.8 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN209292471U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 梁海洋;邓永琪;吴伟亮 | 申请（专利权）人： | 苏州星蓝纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 江苏昆成律师事务所 32281 | 代理人： | 刘尚轲 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 为了解决以上单层较宽较高的密封圈上面存在灰尘时引起的无法保证PVD真空镀膜机的真空腔室的真空度的情况，本实用新型提出一种用于PVD真空镀膜的高密封性门，其包括：加热器1、衬板2、托盘3、腔体4、支撑架5，其中，托盘3固定在腔体4的内部侧壁的下方，衬板2活动固定在腔体4的内部侧壁上，衬板2上靠近PVD真空镀膜机的主体的一面前端设有加热器1，加热器1的底部固定在腔体4的内部侧壁上，支撑架5固定在腔体4的底部侧壁上；腔体4的侧部侧壁超出衬板2的面积范围的一圈设有内部密封圈41，其特征在于：内部密封圈41的外部还设有一圈外部密封圈42，且外部密封圈42的宽度和高度均小于内部密封圈41的宽度和高度。 | ||
| 搜索关键词： | 密封圈 腔体 衬板 加热器 内部侧壁 高密封性门 真空镀膜机 托盘 真空镀膜 支撑架 外部 本实用新型 底部侧壁 活动固定 真空腔室 部侧 单层 保证 | ||
【主权项】：
1.一种用于PVD真空镀膜的高密封性门，其包括：加热器(1)、衬板(2)、托盘(3)、腔体(4)、支撑架(5)，其中，托盘(3)固定在腔体(4)的内部侧壁的下方，衬板(2)活动固定在腔体(4)的内部侧壁上，在力的作用下可以控制衬板(2)上下移动，从而脱离开或者安装到腔体(4)的内部侧壁上，衬板(2)上靠近PVD真空镀膜机的主体的一面前端设有加热器(1)，加热器(1)的底部固定在腔体(4)的内部侧壁上，支撑架(5)固定在腔体(4)的底部侧壁上；腔体(4)的侧部侧壁超出衬板(2)的面积范围的一圈设有内部密封圈(41)，内部密封圈(41)的宽度为1‑2cm，高度为0.5～1cm，其特征在于：内部密封圈(41)的外部还设有一圈外部密封圈(42)，外部密封圈(42)的宽度为0.3～0.8cm，高度为0.2～0.5cm，且外部密封圈(42)的宽度和高度均小于内部密封圈(41)的宽度和高度。
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